Технология микроскопической диагностики замыкания в микросхемах с атомной точностью
Введение в микроскопическую диагностику замыкания в микросхемах Современная микроэлектроника развивается стремительными темпами, и с появлением все более сложных интегральных схем возникает актуальная задача точного выявления дефектов на наноуровне. Одним из наиболее критичных дефектов является замыкание проводящих дорожек, которое зачастую приводит…